新闻中心
联系我们
地址:深圳市龙华区大浪街道华宁路伟华达工业园B栋3楼
邮编:518109
业务专线:0755-29190246
金先生:18682207195
黄小姐:13714151358
传真:0755-29190279
邮箱:sales@szhring.com
行业新闻
导电滑环在单晶炉构成方面有什么应用?
发布日期:2019-02-07 15:16:37
导电滑环在单晶炉构成方面有什么应用?
单晶炉在相对惰性气体环境下,用石墨炉熔融多晶硅多晶材料,用提拉法生长无位错单晶的设备。有两种方法来命名单晶炉的类型,一种是进料量,另一种是室直径。比如85炉,是指主炉筒直径、120、150等是由承载能力决定的。单晶炉的组成主要包括:
1.升降头:主要由安装圆盘减速器、籽腔划环电机、磁流体籽晶秤头、软风箱、导电滑环等部件组成。
2.附件室:主要为附件室筒和上下法兰部件。
3.炉盖:二副室连接法兰,板阀,观察窗真空管组成。
4.炉筒:包括取光孔
5.下炉筒:包括真空管
6.底座:主要是铸铁架和底座。
7.坩埚下驱动装置:主要由磁流体马达、坩埚、支撑轴减速器、软波纹管柱、上下传动支撑架、导轨等部件组成。
8.分水器已经是水路布置:包括分水器、进水管、数个橡胶管套等。
9.氩管道布置:3根柔性管,3根以上质量流量计,不锈钢管,3个压力探测器,高密封夹子等。
10.真空泵和真空除尘装置:油压真空泵、水环真空泵、过滤器、真空管、硬波纹管等。
11.电源及电子控制柜:电源柜过滤柜控制柜及连接线。
导电滑环作为单晶炉的重要组成部分,也起着非常重要的作用。导电滑环是用于提拉头信号传 输及电源供给的,通过360°的旋转来传递电流及信号。所以一旦导电滑环出现故障,提拉头信号就无法正常传输,就会导致单晶炉无法正常运作。